-
1 электронно-лучевая литография
Большой русско-немецкий полетехнический словарь > электронно-лучевая литография
-
2 электронно-лучевая литография
(EBL)Электронно-лучевая литографияМетод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования электронных пучков для облучения поверхности пластины с целью нанесения рисунка. Это одновременное экспонирование ( проекционный способ) всего изображения целиком и последовательное экспонирование (сканирование) отдельных участков рисунка. Проекционные системы, как правило, имеют высокую производительность и более просты, чем сканирующие системы. Носителем информации об изображении является маска (шаблон). Изображение с шаблона передается на пластину лучом электронов. Сканирующие системы управляются вычислительной машиной, которая задает программу перемещения сфокусированного пучка электронов для нанесения рисунка, исправляет эффекты искривления и расширения пучка и определяет положение пластины. Информация об изображении хранится в памяти ЭВМ.
Общая схема сканирующей системы для электронно-лучевой литографииRussian-English dictionary of Nanotechnology > электронно-лучевая литография
-
3 электронно-лучевая литография
Русско-английский новый политехнический словарь > электронно-лучевая литография
-
4 электронно-лучевая литография
Engineering: electron-beam lithography, electron-beam printingУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография
-
5 электронно-лучевая литография
Универсальный русско-немецкий словарь > электронно-лучевая литография
-
6 электронно-лучевая литография
Русско-английский физический словарь > электронно-лучевая литография
-
7 электронно-лучевая литография
Russian-german polytechnic dictionary > электронно-лучевая литография
-
8 электронно-лучевая литография
Русско-английский словарь по микроэлектронике > электронно-лучевая литография
-
9 электронно-лучевая литография
electron-beam lithography, electron-beam printingРусско-английский политехнический словарь > электронно-лучевая литография
-
10 электронно-лучевая литография
Русско-немецкий словарь по электронике > электронно-лучевая литография
-
11 электронно-лучевая литография с векторным сканированием
Engineering: vector-scan electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография с векторным сканированием
-
12 электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
Electronics: direct-write electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
-
13 электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка
Microelectronics: direct-write electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка
-
14 электронно-лучевая литография с программным управлением
Engineering: programmable electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография с программным управлением
-
15 электронно-лучевая литография с растровым сканированием
Microelectronics: raster-scan electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > электронно-лучевая литография с растровым сканированием
-
16 электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображения
adjmicroel. DirektschreibenУниверсальный русско-немецкий словарь > электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображения
-
17 электронно-лучевая литография с растровым сканированием
adjmicroel. Rasterscantechnik, RasterscanverfahrenУниверсальный русско-немецкий словарь > электронно-лучевая литография с растровым сканированием
-
18 растровая электронно-лучевая литография
Engineering: scanning electron-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > растровая электронно-лучевая литография
-
19 сканирующая электронно-лучевая литография
Microelectronics: scanning electron-beam lithography, write e-beam lithographyУниверсальный русско-английский словарь > сканирующая электронно-лучевая литография
-
20 сканирующая электронно-лучевая литография
Универсальный русско-немецкий словарь > сканирующая электронно-лучевая литография
- 1
- 2
См. также в других словарях:
электронно-лучевая литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
электронно-лучевая литография с растровым сканированием — elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography vok. Rasterscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с растровым сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография с векторным сканированием — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
непосредственная электронно-лучевая литография — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… … Radioelektronikos terminų žodynas
сканирующая электронно-лучевая литография — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
литография электронно-лучевая — Термин литография электронно лучевая Термин на английском electron beam lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение нанотехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
электронно-лучевая проекционная литография — elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron projection lithography; electron beam projection lithography vok. Elektronenbildprojektion, f; Elektronenstrahlprojektionsverfahren, n rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением — mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. demagnifying electron beam projection lithography vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f rus. электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
электронная литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
